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? 108A 小型離子濺射儀

108A 小型離子濺射儀是較為常用的樣品導(dǎo)電預(yù)處理設(shè)備，主要應(yīng)用于掃描電子顯微（SEM）和X射線微觀分析等儀器的樣品前處理階段。其工作原理是在真空條件下，用高速離子轟擊靶材，使靶材原子濺射出來，遷移到樣品表面形成鍍膜，以增加樣品的導(dǎo)電性。在實際應(yīng)用中，可根據(jù)不同的樣品特性和觀察目的來選配不同材質(zhì)的靶材。

?  產(chǎn)品特性   

 1、提供“自動”和“手動”兩種操作模式。2、可以通過參數(shù)控制或膜厚監(jiān)控儀（選配）來實現(xiàn)鍍膜的可重復(fù)性。3、可根據(jù)成膜速率和真空度調(diào)控工作電流，以獲得高質(zhì)量鍍膜效果。4、采用直流磁控管“低壓低溫”濺射，減少對試樣的熱影響。5、結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，可快速更換濺射靶材。?產(chǎn)品參數(shù)

?  MTM-10高分辨膜厚檢控儀 （ 選配 ）

該產(chǎn)品是通過收集頂部石英晶體的振蕩頻率的變化信號來檢測濺射膜厚。分辨率為0.5nm。可原位量化濺射膜厚，便于實現(xiàn)鍍膜的可重復(fù)性。

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